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主營產(chǎn)品:實驗室檢測設(shè)備,離心機,食品安全檢測設(shè)備,水質(zhì)分析,紫外可見分光光度計,液氮罐,萬分之一天平,離心機生物實驗室工程,移液器

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等離子灰化機

等離子灰化機

更新時間:2024-06-09

訪問量:1348

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經(jīng)典桶型。
PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓,玻璃基板對應(yīng) 

特征 

● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

● 小型一體化設(shè)計

● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型) 

規(guī)格 

型號

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

自動協(xié)調(diào)

反應(yīng)部

反應(yīng)腔

石英 Φ215×305mm

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(O2/CF4)

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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